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鈦化工軸流泵的除氣機理介紹

人氣:957 發表時間:2021-03-08

(1) 對活性氣體的抽除

對N2、O2、CO和CO2等氣體的排除主要靠淀積于陽極筒內壁上的鈦膜的化學吸附。

(2) 對氫氣的抽除

對氫氣的抽除有化學吸附,也有擴散、吸收、溶解作用。

(3) 對惰性氣體的抽除

對惰性氣體的排除,主要靠離子“掩埋”,被電離的惰性氣體的離子轟擊陰極時,有以下三種情況:

a、離子直接打入陰極內,或打入陰極邊緣對面的陽極板上的鈦淀積層內;

b、斜射的離子切入陰極表面,離子和鈦一起被掀掉而沉積在陰極板的周圍或其它地方;

c、離子沒有打入板內,但是從陰極得到電子而復合為中性原子,然后又反射到陽極內表面的鈦膜中。